EXTRACTION GRID

Eine Vorrichtung zur Extraktion von Ionen und/oder Elektronen aus einem Plasma weist ein Gitter (1) und einen Gitterhalter (2) auf, an dessen Umfang das Gitter (1) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist das Gitter (1) als Streckmetallgitter ausgeführt. Mit der Erfindung werden ferner eine Plasmaquelle, eine Plasmabeschichtungsvorrichtung, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Interferenzschicht bzw. von Interferenzschichtsystemen bereitgestellt. The invention relates to a device for extracting ions and/or electrons from a plasma, comprising a grid (1) and a grid holder (2), on the circumference of which the grid (1) is fastened. According to the invention, the grid (1) is configured as an expanded metal grid. The invention also relates to a plasma source, a plasma coating device and a method for producing an interference layer or interference layer systems. L'invention concerne un dispositif d'extraction d'ions et/ou d'électrons à partir d'un plasma, comprenant une grille (1) et un support de grille (2), sur la périphérie duquel est fixée la grille (1). Selon l'invention, la grille (1) se présente sous la forme d'une grille métallique expansée. L'invention concerne également une source de plasma, un dispositif de revêtement par plasma et un procédé de fabrication d'une couche d'interférence ou de systèmes de couche d'interférence.