DISTRIBUTION SYSTEM FOR A PROCESS FLUID AND AN ELECTRIC CURRENT FOR A CHEMICAL AND/OR ELECTROLYTIC SURFACE TREATMENT OF A SUBSTRATE

The disclosure relates to a distribution system (1) for a process fluid (18) and an electric current for an electrolytic surface treatment of a substrate (9), comprising a distribution body (2), a primary cathode (30), and a secondary cathode (3), wherein the distribution body (2) comprises several...

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Hauptverfasser: ÖTZLINGER, Herbert, GLEISSNER, Andreas
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The disclosure relates to a distribution system (1) for a process fluid (18) and an electric current for an electrolytic surface treatment of a substrate (9), comprising a distribution body (2), a primary cathode (30), and a secondary cathode (3), wherein the distribution body (2) comprises several openings (4) for the process fluid (18) and the electric current, wherein the several openings (4) are arranged at a front face (10) of the distribution body (2), wherein the front face (10) is directed to the primary cathode (30), wherein the primary cathode (30) and the secondary cathode (3) are arranged to attract the electric current and to guide the electric current to the substrate (9) to be treated, wherein the secondary cathode (3) comprises several cathode pixels (13), wherein the several cathode pixels (13) are distributed in an array to be aligned with at least an area of the substrate (9) to be treated, and wherein the several cathode pixels (13) are individually controllable for adjusting a distribution of the electric current at the substrate (9). The disclosure further relates to a distribution module (14) and a distribution method (100). La divulgation concerne un système de distribution (1) de fluide de traitement (18) et de courant électrique pour un traitement de surface électrolytique d'un substrat (9), comprenant un corps de distribution (2), une cathode primaire (30) et une cathode secondaire (3), le corps de distribution (2) comprenant plusieurs ouvertures (4) pour le fluide de traitement (18) et le courant électrique, les ouvertures (4) étant disposées au niveau d'une face avant (10) du corps de distribution (2), la face avant (10) étant dirigée vers la cathode primaire (30), la cathode primaire (30) et la cathode secondaire (3) étant disposées de façon à attirer le courant électrique et à guider le courant électrique vers le substrat (9) à traiter. La cathode secondaire (3) comprend plusieurs pixels de cathode (13), les pixels de cathode (13) étant répartis dans un réseau pour être alignés sur au moins une zone du substrat (9) à traiter, et les pixels de cathode (13) pouvant être commandés individuellement pour régler une distribution du courant électrique au niveau du substrat (9). La présente divulgation concerne en outre un module de distribution (14) et un procédé de distribution (100).