SUBLIMATION CONTROL USING DOWNSTREAM PRESSURE SENSING

A system to control gas flow includes an ampoule to store a solid precursor. A heater is to heat the ampoule and to sublimate the solid precursor into a gaseous precursor. A mass flow controller is to regulate a flow of gaseous precursor from the ampoule to a substrate processing chamber. A pressure sensor is to measure a pressure of the gaseous precursor input to the mass flow controller. A controller is to apply power to the electric heater using closed loop control based on the pressure and a pressure setpoint. Un système pour commander un écoulement de gaz comprend une ampoule pour stocker un précurseur solide. Un dispositif de chauffage est destiné à chauffer l'ampoule et à sublimer le précurseur solide en un précurseur gazeux. Un dispositif de commande de débit massique est destiné à réguler l'écoulement de précurseur gazeux de l'ampoule vers une chambre de traitement de substrat. Un capteur de pression est destiné à mesurer une pression de l'entrée de précurseur gazeux dans le régulateur de débit massique. Un dispositif de commande est destiné à appliquer de l'énergie au dispositif de chauffage électrique à l'aide d'une commande en boucle fermée sur la base de la pression et d'une valeur de consigne de pression.