ELECTROSTATIC CLAMP

An electrostatic clamp for holding an object by electrostatic force is disclosed. The electrostatic clamp comprises a dielectric member having a plurality of conductive burls extending from a surface to define a plane in which the object is held, and a conductive element extending between and connec...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MAKARENKO, Ksenia, VAN EDEN, Gustaaf, NGUYEN, Cung
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An electrostatic clamp for holding an object by electrostatic force is disclosed. The electrostatic clamp comprises a dielectric member having a plurality of conductive burls extending from a surface to define a plane in which the object is held, and a conductive element extending between and connecting the plurality of burls. The conductive element is disposed within one or more trenches formed on the surface of the dielectric member. Also disclosed is a method of manufacturing the electrostatic clamp. L'invention concerne une pince électrostatique destinée à maintenir un objet par force électrostatique. La pince électrostatique comprend un élément diélectrique ayant une pluralité de nervures conductrices s'étendant à partir d'une surface pour définir un plan dans lequel l'objet est maintenu, et un élément conducteur s'étendant entre et reliant la pluralité de nœud. L'élément conducteur est disposé à l'intérieur d'une ou de plusieurs tranchées formées sur la surface de l'élément diélectrique. L'invention concerne également un procédé de fabrication de la pince électrostatique.