DARK FIELD DIGITAL HOLOGRAPHIC MICROSCOPE AND ASSOCIATED METROLOGY METHOD

A dark field digital holographic microscope and associated metrology method is disclosed which is configured to determine a characteristic of interest of a structure. The dark field digital holographic microscope comprises an illumination branch for providing illumination radiation to illuminate said structure; an detection arrangement for capturing object radiation resulting from diffraction of the illumination radiation by said structure; and a reference branch for providing reference radiation for interfering with the object beam to obtain an image of an interference pattern formed by the illumination radiation and reference radiation. The reference branch has an optical element operable to vary a characteristic of the reference radiation so as to reduce and/or minimize variation in a contrast metric of the image within a field of view of the dark field digital holographic microscope at a detector plane. L'invention concerne un microscope holographique numérique sur fond noir et un procédé de métrologie associé qui sont conçus pour déterminer une caractéristique d'intérêt d'une structure. Le microscope holographique numérique sur fond noir comprend une branche d'éclairage servant à fournir un rayonnement d'éclairage pour éclairer ladite structure ; un agencement de détection servant à capturer un rayonnement d'objet résultant de la diffraction du rayonnement d'éclairage par ladite structure ; et une branche de référence servant à fournir un rayonnement de référence pour interférer avec le faisceau objet pour obtenir une image d'un motif d'interférence formé par le rayonnement d'éclairage et le rayonnement de référence. La branche de référence comporte un élément optique pouvant être utilisé pour faire varier une caractéristique du rayonnement de référence de façon à réduire et/ou à minimiser la variation dans une métrique de contraste de l'image dans un champ de vision du microscope holographique numérique sur fond noir au niveau d'un plan de détecteur.