MICROMECHANICAL RESONATOR ASSEMBLY WITH EXTERNAL ACTUATOR
A micromechanical resonator assembly which includes an internal actuator. The internal actuator further includes an oscillation body configured to oscillate about one or more axes, the oscillation body having one or more eigen frequencies. The micromechanical resonator assembly further includes an e...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | A micromechanical resonator assembly which includes an internal actuator. The internal actuator further includes an oscillation body configured to oscillate about one or more axes, the oscillation body having one or more eigen frequencies. The micromechanical resonator assembly further includes an external actuator that includes an oscillating part. The micromechanical resonator assembly further includes a mounting base that includes electronic driving part. The external actuator being mounted on the mounting base and being electrically connected to the electronic driving part, for allowing excitation of the oscillation body of the internal actuator by transfer of energy from the oscillating part to the oscillating body. The micromechanical resonator assembly provides external actuation of the oscillation body of the internal actuator by use of the external actuator and hence, provides extremely large scan angles of 180°.
L'invention concerne un ensemble résonateur micromécanique qui comprend un actionneur interne. L'actionneur interne comprend en outre un corps oscillant configuré pour osciller autour d'un ou plusieurs axes, le corps oscillant ayant une ou plusieurs fréquences propres. L'ensemble résonateur micromécanique comprend en outre un actionneur externe qui comprend une partie oscillante. L'ensemble résonateur micromécanique comprend en outre une base de montage qui comprend une partie d'entraînement électronique. L'actionneur externe est monté sur la base de montage et est électriquement connecté à la partie d'entraînement électronique, pour permettre l'excitation du corps oscillant de l'actionneur interne par transfert d'énergie de la partie oscillante au corps oscillant. L'ensemble résonateur micromécanique fournit un actionnement externe du corps oscillant de l'actionneur interne à l'aide de l'actionneur externe et, par conséquent, fournit des angles de balayage extrêmement grands de 180°. |
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