ARRANGEMENT FOR AND METHOD OF DETERMINING CANTILEVER DEFLECTION IN A SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM

The invention is directed at an arrangement for determining cantilever deflection in a scanning probe microscopy system. The system includes a scan head supporting a probe, including the cantilever and a probe tip, comprising a specular reflective surface. The arrangement comprises an optical source for providing an optical beam. The optical beam is impinged onto the specular reflective surface. An optical sensor receives the reflected beam from the specular reflected surface, forming a light spot on the sensor. The optical sensor provides a sensor signal from which location information of the light spot on the sensor is obtainable. The optical sensor comprises an array of photo diode elements. Each photo diode element is configured for providing a photo diode signal to be included in the sensor signal, and comprises a photo sensitive surface having an effective area dimension in a plane transverse to the beam direction which is smaller than the cross sectional area of the reflective beam. Thereby, the effective area is smaller than the size of the light spot. L'invention concerne un agencement permettant de déterminer une déviation de porte-à-faux dans un système de microscopie à sonde à balayage. Le système comprend une tête de balayage supportant une sonde, comprenant le porte-à-faux et une pointe de sonde, comprenant une surface réfléchissante spéculaire. L'agencement comprend une source optique permettant de fournir un faisceau optique. Le faisceau optique est projeté sur la surface réfléchissante spéculaire. Un capteur optique reçoit le faisceau réfléchi par la surface réfléchissante spéculaire, formant un point lumineux sur le capteur. Le capteur optique fournit un signal de capteur à partir duquel peuvent être obtenues des informations de position du point lumineux sur le capteur. Le capteur optique comprend un réseau d'éléments photodiodes. Chaque élément photodiode est conçu pour fournir un signal de photodiode devant être inclus dans le signal de capteur et comprend une surface photosensible ayant une dimension de surface efficace dans un plan transversal à la direction du faisceau qui est inférieure à la surface de section transversale du faisceau réfléchissant. Ainsi, la surface efficace est inférieure à la taille du point lumineux.