VERTICAL DIGIT LINES FOR SEMICONDUCTOR DEVICES

Systems, methods and apparatus are provided for an array of vertically stacked memory cells having horizontally oriented access devices and access lines, and vertically oriented digit lines having a first source/drain region and a second source drain region separated by a channel region, and gates opposing the channel region, horizontal oriented access lines coupled to the gates and separated from a channel region by a gate dielectric. The memory cells have horizontally oriented storage nodes coupled to the second source/drain region of the horizontally oriented access devices. The vertically oriented digit lines are formed in direct electrical contact with the first source/drain regions of the horizontally oriented access devices. A vertically oriented body contact line is integrated to form the body contact to the body region of the horizontally oriented access device and separate from the first source/drain region and the vertically oriented digit lines by a dielectric. L'invention concerne des systèmes, des procédés et un appareil pour un réseau de cellules de mémoire empilées verticalement ayant des dispositifs d'accès orientés horizontalement et des lignes d'accès, et des lignes numériques orientées verticalement ayant une première région de source/drain et une seconde région de source/drain séparées par une région de canal, et des grilles opposées à la région de canal, des lignes d'accès orientées horizontalement couplées aux grilles et séparées d'une région de canal par un diélectrique de grille. Les cellules de mémoire ont des nœuds de stockage orientés horizontalement couplés à la seconde région de source/drain des dispositifs d'accès orientés horizontalement. Les lignes numériques orientées verticalement sont formées en contact électrique direct avec les premières régions de source/drain des dispositifs d'accès orientés horizontalement. Une ligne de contact de corps orientée verticalement est intégrée pour former le contact de corps avec la région de corps du dispositif d'accès orienté horizontalement et séparée de la première région de source/drain et des lignes numeriques orientées verticalement par un diélectrique.