THERMALLY UNIFORM DEPOSITION STATION

Gas distribution assemblies and methods for providing a flow of gases to a process station are described. The gas distribution assemblies comprise a pumping liner with a showerhead and a gas funnel positioned therein. The pumping liner has an inner wall that slants at a first angle relative to a central axis of the gas distribution assembly so that the inner wall adjacent the bottom wall of the pumping liner is closer to the central axis than the inner wall adjacent the top wall. The gas funnel and pumping liner form a plenum between the outer wall of the gas funnel, a cavity in the bottom wall of the gas funnel and the inner wall of the pumping liner. Des ensembles et des procédés de distribution de gaz pour fournir un écoulement de gaz à une station de traitement sont décrits. Les ensembles de distribution de gaz comprennent une chemise de pompage avec une pomme de douche et un entonnoir à gaz positionné à l'intérieur de celle-ci. La chemise de pompage a une paroi interne qui s'incline selon un premier angle par rapport à un axe central de l'ensemble de distribution de gaz de telle sorte que la paroi interne adjacente à la paroi inférieure de la chemise de pompage est plus proche de l'axe central que la paroi interne adjacente à la paroi supérieure. L'entonnoir à gaz et la chemise de pompage forment un plénum entre la paroi extérieure de l'entonnoir à gaz, une cavité dans la paroi inférieure de l'entonnoir à gaz et la paroi intérieure de la chemise de pompage.