OBJECT TABLE, STAGE APPARATUS, HOLDING METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

The invention provides an object table comprising: - a holding surface for holding an object; - an actuator arrangement configured to exert a holding force on the object for holding the object to the holding surface; whereby the actuator arrangement is further configured to decrease a strain in the...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	STEUR, Michael, JEUNINK, Andre, PIJNENBURG, Johannes, JANSEN, Bas
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention provides an object table comprising: - a holding surface for holding an object; - an actuator arrangement configured to exert a holding force on the object for holding the object to the holding surface; whereby the actuator arrangement is further configured to decrease a strain in the object caused by the holding force by sequentially detaching and re-attaching portions of the object from the holding surface, while the object is held to the holding surface. L'invention concerne une table d'objet comprenant : une surface de maintien destinée à maintenir un objet ; un arrangement d'actionneur configuré pour exercer une force de maintien sur l'objet afin de maintenir l'objet sur la surface de maintien. L'arrangement actionneur est en outre configuré pour réduire une contrainte dans l'objet provoquée par la force de maintien en détachant et réattachant séquentiellement des portions de l'objet de/à la surface de maintien, tandis que l'objet est maintenu sur la surface de maintien.