OPERATING METHOD FOR A GROUP OF PRESSURE SENSORS

Verfahren (100) zum Betrieb einer Gruppe von Drucksensoren, wobei die Gruppe mindestens einen ersten Drucksensor mit einem ersten Druck-Messbereich und einen zweiten Drucksensor mit einem zweiten Druck-Messbereich umfasst, wobei der erste und der zweite Drucksensor so angeordnet sind, dass sie den Druck in einem gemeinsamen Messvolumen messen können, wobei der erste und der zweite Druck-Messbereich in einem Überlapp-Druck-Messbereich überlappen und wobei das Verfahren die Schritte umfasst: aa) im Wesentlichen gleichzeitiges Auslesen (101) eines ersten Mess-Signals des ersten Drucksensors und eines zweiten Mess-Signals des zweiten Drucksensors während der Druck im gemeinsamen Messvolumen im Überlapp-Druck-Messbereich liegt; bb) Festlegen (102) des ausgelesenen ersten Mess-Signals als Justierpunkt für den zweiten Drucksensor; cc) Bestimmen (103) mindestens eines Kalibrierungsparameters insbesondere eines gasabhängigen Kalibrierungsparameters, für den zweiten Drucksensor in Funktion des ersten Mess-Signals, in Funktion des in Schritt bb) festgelegten Justierpunkts für den zweiten Drucksensor und in Funktion des zweiten Mess-Signals. Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumprozessanlage, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und ein Computer-Programm-Produkt. Method (100) for operating a group of pressure sensors, wherein the group comprises at least a first pressure sensor with a first pressure measurement range and a second pressure sensor with a second pressure measurement range, wherein the first and second pressure sensors are arranged in such a manner that they can measure the pressure in a common measurement volume, wherein the first and second pressure measurement ranges overlap in an overlap pressure measurement range, and wherein the method comprises the steps of: aa) reading out (101) a first measurement signal from the first pressure sensor and a second measurement signal from the second pressure sensor substantially at the same time while the pressure in the common measurement volume is in the overlap pressure measurement range; bb) stipulating (102) the first measurement signal which has been read out as the adjustment point for the second pressure sensor; cc) determining (103) at least one calibration parameter, in particular a gas-dependent calibration parameter, for the second pressure sensor as a function of the first measurement signal, as a function of the adjustment point for the second pressure senso