GAS PURGE UNIT AND THE LOAD PORT DEVICE

[Problem] To provide a gas purge unit with good maintainability and having a vertical movement mechanism of a nozzle. [Solution] A gas purge unit comprising: a first purge nozzle in which a gas flow path is internally formed, which communicates with a first purge port provided at the bottom of a container, and which introduces gas into the container or discharges gas from the container; a first communication unit which has a first holding unit for holding the first purge nozzle at one end; and a first actuator to which the first communication unit is connected and which moves the first communication unit and the first purge nozzle vertically. Le problème décrit par la présente invention est de fournir une unité de purge de gaz ayant une bonne maintenabilité et ayant un mécanisme de déplacement vertical d'une buse. La solution selon l'invention porte sur une unité de purge de gaz comprenant : une première buse de purge dans laquelle un trajet d'écoulement de gaz est formé à l'intérieur, qui communique avec un premier orifice de purge situé au fond d'un récipient, et qui introduit du gaz dans le récipient ou évacue le gaz du récipient ; une première unité de communication qui a une première unité de maintien pour maintenir la première buse de purge à une extrémité ; et un premier actionneur auquel la première unité de communication est connectée et qui déplace verticalement la première unité de communication et la première buse de purge. 【課題】メンテナンス性の良好なノズルの上下動機構を有するガスパージユニット等を提供する。 【解決手段】内部にガスの流路が形成されており、容器の底部に備えられる第１パージポートに連通し、ガスを前記容器に導入またはガスを前記容器から排出する第１パージノズルと、一方の端部に前記第１パージノズルを保持する第１保持部を有する第１連結部と、前記第１連結部が接続しており、前記第１連結部および前記第１パージノズルを上下動させる第１アクチュエータと、を有するガスパージユニット。