METHOD AND STRUCTURE TO INCORPORATE MULTIPLE LOW LOSS PHOTONIC CIRCUIT COMPONENTS

A photonic integrated circuit including a substrate, a plurality of oxide layers on the substrate, and various passive and active integrated optical components in the plurality of oxide layers. The integrated optical components include silicon nitride waveguides, a Pockels effect phase shifter (e.g., BaTiO3 phase shifter), a superconductive nanowire single photon detector (SNSPD), an optical isolation structure surrounding the SNSPD, a single photon generator, a thermal isolation structure, a heater, a temperature sensor, a photodiode for data communication (e.g., a Ge photodiode), or a combination thereof. Un circuit intégré photonique comprend un substrat, une pluralité de couches d'oxyde sur le substrat, et divers composants optiques intégrés passifs et actifs dans la pluralité de couches d'oxyde. Les composants optiques intégrés comprennent des guides d'ondes en nitrure de silicium, un déphaseur à effet Pockels (par exemple, un déphaseur de BaTiO3), un détecteur de photon unique à nanofil supraconducteur (SNSPD), une structure d'isolation optique entourant le SNSPD, un générateur de photon unique, une structure d'isolation thermique, un dispositif de chauffage, un capteur de température, une photodiode pour une communication de données (par exemple, une photodiode Ge), ou une combinaison associée.