PARAMETER SENSING AND COMPUTER MODELING FOR GAS DELIVERY HEALTH MONITORING

A method includes receiving measurement data from multiple sensors positioned along a delivery line that delivers a liquid as a gas to one of a gas panel or a processing chamber; simulating, using a computer-generated model, one or more process parameters associated with the delivery line and a plurality of heater jackets positioned around the delivery line; comparing the measurement data with values of the one or more process parameters; and determining, based on at least a threshold deviation between the measurement data and the values of the one or more process parameters, that a fault exists that is associated with maintaining temperature within the delivery line consistent with a gaseous state of the liquid. Un procédé consistant : à recevoir des données de mesure provenant de multiples capteurs positionnés le long d'une ligne de distribution qui distribue un liquide en tant que gaz à un panneau de gaz et/ou une chambre de traitement ; à simuler, à l'aide d'un modèle généré par ordinateur, un ou plusieurs paramètres de traitement associés à la ligne de distribution et une pluralité d'enveloppes d'un dispositif de chauffage positionnées autour de la ligne de distribution ; à comparer les données de mesure avec des valeurs du paramètre ou des paramètres de traitement ; et à déterminer, sur la base d'au moins un écart de seuil entre les données de mesure et les valeurs du paramètre ou des paramètres de traitement, qu'il existe une défaillance qui est associée à une température de maintien dans la ligne de distribution compatible avec un état gazeux du liquide.