MICROELECTRONIC DEVICES WITH TIERED DECKS OF DIFFERING PILLAR DENSITY AND RELATED METHODS AND SYSTEMS

Microelectronic devices include a lower deck and an upper deck, each comprising a stack structure with a vertically alternating sequence of insulative structures and conductive structures arranged in tiers. A lower array of pillars extends through the stack structure of the lower deck, and an upper array of pillars extends through the stack structure of the upper deck. Along an interface between the lower deck and the upper deck, the pillars of the lower array align with the pillars of the upper array. At least at elevations comprising bases of the pillars, a pillar density of the pillars of the lower array differs from a pillar density of the pillars of the upper array, "pillar density" being a number of pillars per unit of horizontal area of the respective array. Related methods and electronic systems are also disclosed. L'invention concerne des dispositifs micro-électroniques comprenant un étage inférieur et un étage supérieur, chacun comprenant une structure d'empilement avec une séquence alternée verticalement de structures isolantes et de structures conductrices disposées en gradins. Un réseau inférieur de piliers s'étend à travers la structure d'empilement de l'étage inférieur, et un réseau supérieur de piliers s'étend à travers la structure d'empilement de l'étage supérieur. Le long d'une interface située entre l'étage inférieur et l'étage supérieur, les piliers du réseau inférieur s'alignent avec les piliers du réseau supérieur. Au moins au niveau d'élévations comprenant les bases des piliers, la densité des piliers du réseau inférieur diffère de la densité des piliers du réseau supérieur, la "densité de piliers" étant le nombre de piliers par unité de zone horizontale du réseau respectif. L'invention concerne également des procédés et des systèmes électroniques associés.