MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER SENSOR AND MEASUREMENT UNIT

A Mach-Zehnder Interferometer, MZI, sensor (3) comprising an optical input unit (7), an optical output unit (8), and at least two sensor elements (4A-C). Each of the at least two sensor elements (4A-C) comprises a membrane (14A-C), and a waveguide spiral (15A-C) in contact with the planar membrane5 (14A-C). The Mach-Zehnder Interferometer sensor (3) further comprises a waveguide arrangement providing two optical paths (9, 10) from the optical input unit (7) to the optical output unit (8), the at least two sensor elements being part of at least one optical path (9) of the two optical paths (9, 10). Furthermore, an array of Mach-Zehnder Interferometer sensors (3), as defined herein, is also provided. L'invention concerne un capteur (3) d'interféromètre de Mach-Zehnder, MZI, comprenant une unité d'entrée optique (7), une unité de sortie optique (8) et au moins deux éléments capteurs (4A-C). Chacun desdits deux éléments capteurs (4A-C) comprend une membrane (14A-C), et une spirale de guide d'ondes (15A-C) en contact avec la membrane plane (14A-C). Le capteur (3) d'interféromètre de Mach-Zehnder comprend en outre un agencement de guide d'ondes fournissant deux trajets optiques (9, 10) de l'unité d'entrée optique (7) à l'unité de sortie optique (8), lesdits deux éléments capteurs faisant partie d'au moins un trajet optique (9) des deux trajets optiques (9, 10). L'invention concerne en outre également un réseau de capteurs (3) d'interféromètre de Mach-Zehnder, tel que défini dans la description.