METHOD AND HARDWARE FOR POST MAINTENANCE VACUUM RECOVERY SYSTEM

A method and system for vacuum chamber integrity verification after chamber maintenance or venting. The method includes a computing system causing a measurement cycle that includes causing a pump to pump down pressure of the vacuum chamber for a set duration of time or to a target pressure; causing an isolation valve to isolate the vacuum chamber; receiving sensor data from an optical emission sensor; and analyzing the sensor data to determine whether the sensor data satisfies one or more sensor data criteria. The method further includes, the computing system, causing one or more repetitions of the measurement cycle until the sensor data meets the one or more sensor data criteria. The method further includes analyzing the sensor data that meets the sensor data criteria to determine at least one of vacuum chamber leak rate or vacuum chamber moisture content. The system includes the vacuum chamber, pump, isolation valve, optical emission sensor, and computing system. La présente invention concerne un procédé et un système de vérification de l'intégrité d'une chambre sous vide après l'entretien ou la ventilation de la chambre. Le procédé comprend un système informatique provoquant un cycle de mesure qui consiste à amener une pompe à faire baisser la pression de la chambre à vide pendant une durée définie ou jusqu'à une pression cible ; amener une vanne d'isolement à isoler la chambre à vide ; recevoir des données de capteur provenant d'un capteur d'émission optique ; et analyser les données de capteur pour déterminer si les données de capteur satisfont un ou plusieurs critères de données de capteur. Le procédé comprend en outre la provocation par le système informatique d'une ou plusieurs répétitions du cycle de mesure jusqu'à ce que les données de capteur satisfont le ou les critères de données de capteur. Le procédé comprend en outre l'analyse des données de capteur qui satisfont aux critères de données de capteur pour déterminer le taux de fuite de la chambre à vide et/ou la teneur en humidité de la chambre à vide. Le système comprend la chambre à vide, la pompe, la vanne d'isolement, le capteur d'émission optique et le système informatique.