DISTALLY ACTUATED SCANNING MIRROR

A distally-actuated scanning mirror includes: a mirror block (301) with reflective surface on one side; torsional hinges (302) with proximal ends (302a) rigidly attached to the mirror block, and with distal ends (302b) attached to flexural structures (307a, 307b) configured to transform translational motion of the piezoelectric elements (306a, 306b) into rotational motion of the distal ends of the hinges; and piezoelectric elements providing such translational motion. The distally-actuated scanning mirror may include flexural structures made of separate flexures (307a, 307b) attached to the opposite surfaces of the distal ends (302b) of the hinges, or may include flexural structures (507) having defined thinned-down flexural points (507c, 507d). Portions of the distally-actuated scanning mirror may be 3D printed and/or fabricated by silicon MEMS technology. The mirror is fabricated from a Silicon-on-lnsulator wafer, having a relatively thick (e.g., 380 um) handle layer, and a relatively thin e.g., 50 um), where photolithography with backside-alignment allows separate patterning of these two layers. L'invention concerne un miroir de balayage à actionnement distal comprenant : un bloc de miroir (301) avec une surface réfléchissante sur un côté ; des charnières de torsion (302) avec des extrémités proximales (302a) fixées de manière rigide au bloc de miroir, et avec des extrémités distales (302b) fixées à des structures de flexion (307a, 307b) configurées pour transformer le mouvement de translation des éléments piézoélectriques (306a, 306b) en un mouvement de rotation des extrémités distales des charnières ; et des éléments piézoélectriques fournissant un tel mouvement de translation. Le miroir de balayage à actionnement distal peut comprendre des structures de flexion constituées de flexions séparées (307a, 307b) fixées aux surfaces opposées des extrémités distales (302b) des charnières, ou peuvent comprendre des structures de flexion (507) ayant des points de flexion amincies définis (507c, 507d). Des parties du miroir de balayage à actionnement distal peuvent être imprimées en 3D et/ou fabriquées par technologie MEMS en silicium. Le miroir est fabriqué à partir d'une tranche de silicium sur isolant, ayant une couche de poignée relativement épaisse (par exemple, 380 µm), et une couche relativement mince (par exemple, 50 µm), la photolithographie avec un alignement arrière permettant la formation séparée de motifs de ces deux couches.