THIN-FILM SURFACE-ACOUSTIC-WAVE FILTER USING LITHIUM NIOBATE

An apparatus is disclosed for a surface-acoustic-wave filter using lithium niobate (LiNbO3). In an example aspect, the apparatus includes at least one surface-acoustic-wave filter including an electrode structure, a substrate layer, and a piezoelectric layer disposed between the electrode structure...

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Hauptverfasser: BLEYL, Ingo, ROESLER, Ulrike Monika
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An apparatus is disclosed for a surface-acoustic-wave filter using lithium niobate (LiNbO3). In an example aspect, the apparatus includes at least one surface-acoustic-wave filter including an electrode structure, a substrate layer, and a piezoelectric layer disposed between the electrode structure and the substrate layer. The piezoelectric layer includes lithium niobate material configured to enable propagation of an acoustic wave across its planar surface in a direction along a first filter axis. A second filter axis is along the planar surface and perpendicular to the first filter axis. A third filter axis is normal to the planar surface. An orientation of the first, second, and third filter axes is relative to a crystalline structure of the lithium niobate material as defined by Euler angles λ, µ, and θ. A value of µ has a range approximately from -70° to -55° or at least one symmetrical equivalent. L'invention divulgue un appareil destiné à un filtre à ondes acoustiques de surface utilisant du niobate de lithium (LiNbO3). Selon un aspect donné à titre d'exemple, l'appareil comprend au moins un filtre à ondes acoustiques de surface comprenant une structure d'électrode, une couche de substrat et une couche piézoélectrique disposée entre la structure d'électrode et la couche de substrat. La couche piézoélectrique comprend un matériau niobate de lithium conçu pour permettre la propagation d'une onde acoustique sur toute sa surface plane dans un sens le long d'un premier axe de filtre. Un deuxième axe de filtre est situé le long de la surface plane et perpendiculairement au premier axe de filtre. Un troisième axe de filtre est situé perpendiculairement à la surface plane. Une orientation des premier, deuxième et troisième axes de filtre est relative à une structure cristalline du matériau niobate de lithium telle que définie par les angles d'Euler λ, µ et θ. Une valeur de µ s'inscrit dans une plage d'environ -70° à -55° ou d'au moins un équivalent symétrique.