RAPID THERMAL PROCESSING SYSTEM WITH COOLING SYSTEM

Apparatus, systems, and methods for processing workpieces are provided. In one example, such a method for performing a spike anneal rapid thermal process may include controlling a heat source to begin heating a workpiece supported on a workpiece support in a processing chamber. The method may further include receiving data indicative of a temperature of the workpiece. Furthermore, the method may include monitoring the temperature of the workpiece relative to a temperature setpoint. Moreover, the method may include controlling the heat source to stop heating the workpiece based at least in part on the workpiece reaching the temperature setpoint. Additionally, the method may include controlling a cooling system to begin flowing a cooling gas at a rate of about 300 slm or greater over the workpiece based at least in part on the workpiece reaching the temperature setpoint to reduce a t50 peak width of the workpiece. L'invention concerne un appareil, des systèmes et des procédés pour traiter des pièces. Dans un exemple, un tel procédé de réalisation d'un processus thermique rapide de recuit de pointe peut comprendre la commande d'une source de chaleur pour commencer le chauffage d'une pièce supportée sur un support de pièce dans une chambre de traitement. Le procédé peut en outre comprendre la réception de données indiquant une température de la pièce. En outre, le procédé peut comprendre la surveillance de la température de la pièce par rapport à une valeur de consigne de température. De plus, le procédé peut comprendre la commande de la source de chaleur pour arrêter le chauffage de la pièce sur la base, au moins en partie, de la pièce atteignant la valeur de consigne de température. De plus, le procédé peut comprendre la commande d'un système de refroidissement pour commencer l'écoulement d'un gaz de refroidissement à une vitesse d'environ 300 slm ou plus sur la pièce sur la base, au moins en partie, de la pièce atteignant la valeur de consigne de température pour réduire une largeur de pic t50 de la pièce.