VACUUM DEPOSITION SYSTEM, SUBSTRATE TRANSPORT SYSTEM, AND METHOD OF TRANSPORTING A SUBSTRATE THROUGH A VACUUM CHAMBER

A vacuum deposition system (100) for coating a substrate is described. The vacuum deposition system includes a first vacuum chamber (101); and a substrate transport system (110) with a plurality of transport rollers (111) arranged along a carrier transport path (T) for transporting a substrate carrier (10) through the first vacuum chamber. At least one transport roller (120) of the plurality of transport rollers or an outer support layer (122) of at least one transport roller is resiliently mounted. Specifically, the at least one transport roller may include a flexible layer or a flexible element. Further described are a substrate transport system and a method of transporting a substrate through a vacuum chamber. L'invention concerne un système de dépôt sous vide (100) pour revêtir un substrat. Le système de dépôt sous vide comprend une première chambre sous vide (101) ; et un système de transport de substrat (110) avec une pluralité de rouleaux de transport (111) disposés le long d'un trajet de transport de support (T) pour transporter un support de substrat (10) à travers la première chambre sous vide. Au moins un rouleau de transport (120) de la pluralité de rouleaux de transport ou une couche de support externe (122) d'au moins un rouleau de transport est monté de manière élastique. Spécifiquement, l'au moins un rouleau de transport peut comprendre une couche flexible ou un élément flexible. L'invention concerne en outre un système de transport de substrat et un procédé de transport d'un substrat à travers une chambre sous vide.