METHOD OF OPERATION OF A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

A method of operation of a charged particle beam device, where the observed place on a sample moves within the field of view of the charged particle beam device as the sample is tilted or rotated. At least one sample image in a first sample position and at least one auxiliary sample image in a position different from the first sample position are generated. The sample images are compared, wherein the result of the comparison is a determined sample displacement value, by which the sample must be shifted to a third position such that the observed place on the sample is in the same position relative to the charged particle beam device as in the first sample position. L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un dispositif à faisceau de particules chargées, dans lequel l'endroit observé sur un échantillon se déplace dans le champ de vision du dispositif à faisceau de particules chargées à mesure que l'échantillon est incliné ou tourné. Au moins une image d'échantillon dans une première position d'échantillon et au moins une image d'échantillon auxiliaire dans une position différente de la première position d'échantillon sont générées. Les images d'échantillon sont comparées, le résultat de la comparaison étant une valeur de déplacement d'échantillon déterminée, de laquelle l'échantillon doit être déplacé jusqu'à une troisième position pour que l'endroit observé sur l'échantillon soit à la même position par rapport au dispositif à faisceau de particules chargées que dans la première position d'échantillon.