TRANSFER DEVICE AND FILM FORMING DEVICE USING SAME

In order to provide a film forming device that, in addition to assuring the stability of film forming quality, improves productivity, is small, and is low-cost, the present invention comprises: a rotary body (21) that is rotatable and is provided with a holding part (212) in which objects (3) to be transferred can be held in a releasable manner, and which are provided along an outer circumferential part of the rotary body (21); and a transfer mechanism (22) that has a gripping mechanism (223) that can grip and release the objects (3), transfers an object (3) held by a predetermined apparatus (111) to the holding part (212) of the rotary body (21), and transfers another object (3) held by the rotary body (21) to the predetermined apparatus (111). Afin de fournir un dispositif filmogène qui, en plus de garantir la stabilité de la qualité de formation de film, améliore la productivité, est petit, et est peu coûteux, la présente invention comprend : un corps rotatif (21) qui est rotatif et qui est doté d'une partie de maintien (212) dans laquelle des objets (3) à transférer peuvent être maintenus amovibles, et qui sont disposés le long d'une partie circonférentielle externe du corps rotatif (21) ; et un mécanisme de transfert (22) qui comporte un mécanisme de préhension (223) qui peut saisir et relâcher les objets (3), transfère un objet (3) maintenu par un appareil prédéfini (111) à la partie de maintien (212) du corps rotatif (21), et transfère un autre objet (3) maintenu par le corps rotatif (21) à l'appareil prédéfini (111). 成膜品質の安定性を確保したうえで、生産性が高く、小型で安価な成膜装置を提供するために、回転可能とされた回転体（２１）であって、移載すべき対象物（３）が着脱可能に保持される保持部（２１２）が当該回転体（２１）の外周部に沿って設けられた回転体（２１）と、前記対象物（３）を把持及び解放可能な把持機構（２２３）を有し、所定機器（１１１）に保持された対象物（３）を前記回転体（２１）の保持部（２１２）に移載するとともに、前記回転体（２１）に保持された他の対象物（３）を前記所定機器（１１１）に移載する移載機構（２２）と、を備える。