PROCESS FOR THE OBTAINMENT OF SUSPENDED DOUBLE-FLAT SU-8 JANUS CHIPS, SAID SUSPENDED DOUBLE-FLAT SU-8 JANUS CHIPS AND SUSPENDED ARRAY THEREOF

The invention relates to a process for the obtainment of suspended double-flat SU-8 Janus chips by means of SU-8 photolithography to create an arrangement of ordered SU-8 chips on a substrate and soft lithography to create a planar printed arrangement or a planar printed array on each chip, said pro...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: AGUSIL ANTONOFF, Juan Pablo, PLAZA PLAZA, Jose Antonio
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; spa
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Beschreibung
Zusammenfassung:The invention relates to a process for the obtainment of suspended double-flat SU-8 Janus chips by means of SU-8 photolithography to create an arrangement of ordered SU-8 chips on a substrate and soft lithography to create a planar printed arrangement or a planar printed array on each chip, said process comprising steps for forming a solidified membrane that is peeled off and dissolved in an aqueous medium. Furthermore, the invention relates to the suspended double-flat SU-8 Janus chips and to a suspended array comprises at least two different suspended double-flat SU-8 Janus chips. Lastly, the invention relates to barcoding chips and to sensing devices comprising said suspended double-flat SU-8 Janus chips or said suspended array. La invención trata de un proceso para la obtención de chips Janus, doble planares suspendidos de SU-8 mediante fotolitografía de SU-8 para crear una disposición de chips de SU-8 ordenados sobre un sustrato y litografía blanda para crear una disposición de plano impreso o un arreglo planar impreso sobre cada chip, que comprende etapas para formar una membrana solidificada que se despega y se disuelve en un medio acuoso. Adicionalmente, la invención trata de los chips Janus, doble planares suspendidos de SU-8 y un arreglo suspendido de al menos dos chips Janus, doble planares y suspendidos de SU-8 diferentes. Finalmente, la invención trata de chips de códigos de barras y dispositivos sensores que comprenden dichos chips Janus, doble planares suspendidos de SU-8 o dicho arreglo suspendido. L'invention concerne un procédé pour l'obtention de puces Janus, double planaires suspendues de SU-8 par photolithographie de SU-8 afin de créer une disposition de puces de SU-8 ordonnées sur un substrat et par lithographie molle pour créer une disposition de plan imprimé ou un agencement planaire imprimé sur chaque puce, qui comprend des étapes pour former une membrane solidifiée qui se décolle et se dissout dans un milieu aqueux. En outre, l'invention concerne les puces Janus, double planaires suspendues de SU-8 et un agencement suspendu d'au moins deux puces Janus, double planaires et suspendues de SU-8 différentes. Enfin, l'invention concerne des puces de codes à barres et dispositifs capteurs qui comprennent lesdites puces Janus, double planaires suspendues de SU-8 ou ledit agencement suspendu.