ROBUST FLUID COUPLING APPARATUS

A target material supply apparatus includes: first and second fluid flow components (1122, 1126) that define an axial flow path when joined together, in which the axial flow path is between a source of target material fluid and a nozzle supply apparatus; and a coupling apparatus configured to seal the joint between the first and second fluid flow components. The coupling apparatus includes a gasket (1105) having an annular shape defining an inner opening that is a part of the axial flow path when seated and sealed. When the gasket is seated between the first and second fluid flow components to thereby seal the joint formed by attaching the first and second fluid flow components, pressure applied to the gasket from target material fluid traversing the gasket inner opening along the axial flow path improves the hermetic function of the seal at the joint. Optionally, a functional insert like e.g. a flow restrictor (1160) can be seated in the gasket. La présente invention concerne un appareil d'alimentation en matériau cible comprenant : des premier et second composants (1122, 1126) d'écoulement de fluide qui délimitent un chemin d'écoulement axial lorsqu'ils sont joints l'un à l'autre, le chemin d'écoulement axial se trouvant entre une source de fluide de matériau cible et un appareil d'alimentation à buse; et un appareil d'accouplement conçu pour étanchéifier la jointure entre les premier et second composants d'écoulement de fluide. L'appareil d'accouplement comprend un joint d'étanchéité (1105) ayant une forme annulaire délimitant une ouverture interne qui fait partie du chemin d'écoulement axial lorsqu'il est logé et rendu hermétique. Lorsque le joint d'étanchéité est logé entre les premier et second composants d'écoulement de fluide, de façon à rendre ainsi hermétique la jointure formée par la fixation des premier et second composants d'écoulement de fluide, la pression appliquée au joint d'étanchéité par un fluide de matériau cible traversant l'ouverture interne du joint d'étanchéité le long du chemin d'écoulement axial améliore la fonction hermétique du joint au niveau de la jointure. Optionnellement, une pièce rapportée fonctionnelle telle que par exemple un limiteur de débit (1160) peut être logée dans le joint d'étanchéité.