EXCLUSION RING FOR SUBSTRATE PROCESSING

In some examples, an exclusion ring locates a substrate on a substrate-support assembly in a processing chamber. An example exclusion ring comprises an inner edge portion to cover an edge of a substrate in the processing chamber and an outer edge portion to support the exclusion ring on the substrate support assembly in the processing chamber. The outer edge portion may include an outer edge of the exclusion ring. A separation zone extending between the inner edge portion and the outer edge of the exclusion ring includes an undercut in an undersurface of the exclusion ring. In some examples, a cooling gas is directed at the exclusion ring while the exclusion ring is located at a station or during an indexing operation performed by the exclusion ring within a processing tool. Dans certains exemples, une bague d'exclusion positionne un substrat sur un ensemble de support de substrat dans une chambre de traitement. Un exemple d'anneau d'exclusion comprend une partie de bord interne pour recouvrir un bord d'un substrat dans la chambre de traitement et une partie de bord externe pour supporter la bague d'exclusion sur l'ensemble de support de substrat dans la chambre de traitement. La partie de bord externe peut comprendre un bord externe de la bague d'exclusion. Une zone de séparation s'étendant entre la partie de bord interne et le bord externe de la bague d'exclusion comprend une contre-dépouille dans une surface inférieure de la bague d'exclusion. Dans certains exemples, un gaz de refroidissement est dirigé au niveau de la bague d'exclusion tandis que la bague d'exclusion est située au niveau d'une station ou pendant une opération d'indexation réalisée par la bague d'exclusion à l'intérieur d'un outil de traitement.