MULTIPLE-CHANNEL SHOWERHEAD DESIGN AND METHODS IN MANUFACTURING

A method and apparatus for producing a gas distribution apparatus are described herein. More specifically, a method and apparatus for producing triplechannel gas distribution apparatus is described herein. The gas distribution apparatus described herein includes an upper plate, a middle plate, and a lower plate. The middle plate and the lower plate are machined before all of the upper plate, the middle plate, and the lower plate are bonded. Additional machining is then performed on the gas distribution apparatus. The gas distribution apparatus is used to distribute three or more process gases into a processing chamber. Sont décrits ici, un procédé et un appareil de production d'un appareil de distribution de gaz. En particulier, sont décrits ici, un procédé et un appareil de production d'un appareil de distribution de gaz à canaux triples. L'appareil de distribution de gaz décrit ici comprend une plaque supérieure, une plaque intermédiaire et une plaque inférieure. La plaque intermédiaire et la plaque inférieure sont usinées avant l'assemblage de la plaque supérieure, de la plaque intermédiaire et de la plaque inférieure. Un usinage supplémentaire est ensuite effectué sur l'appareil de distribution de gaz. L'appareil de distribution de gaz est utilisé pour distribuer au moins trois gaz de traitement dans une chambre de traitement.