LIQUID SUPPLY DEVICE AND POLISHING DEVICE

This liquid supply device comprises: a rocking arm that can horizontally rock the upper side of a polishing table; a slurry tube that extends in the longitudinal direction of the rocking arm and discharges slurry onto the polishing table from a slurry discharge port at a tip section thereof; and a plurality of spray nozzles which are provided to be aligned in the longitudinal direction of the rocking arm and spray a cleaning fluid onto the polishing table. The spray nozzles positioned at the tip section of the rocking arm are provided obliquely so as to be capable of cleaning a drop position of slurry onto the polishing table, the slurry being discharged from the slurry discharge nozzles. La présente invention concerne un dispositif d'alimentation en liquide comprenant : un bras oscillant qui peut balancer horizontalement le côté supérieur d'une table de polissage ; un tube à boue qui s'étend dans la direction longitudinale du bras oscillant et évacue la boue sur la table de polissage à partir d'un orifice d'évacuation de boue au niveau d'une section de pointe de celui-ci ; et une pluralité de buses de pulvérisation qui sont disposées de façon à être alignées dans la direction longitudinale du bras oscillant et pulvériser un fluide de nettoyage sur la table de polissage. Les buses de pulvérisation positionnées au niveau de la section de pointe du bras oscillant sont disposées de manière oblique de façon à pouvoir nettoyer une position de chute de la boue sur la table de polissage, la boue étant évacuée à partir des buses de décharge de boue. 液体供給装置は、研磨テーブルの上方を水平に揺動可能な揺動アームと、揺動アームの長手方向に沿って延ばされており先端部のスラリ吐出口から研磨テーブル上にスラリを吐出するスラリチューブと、揺動アームの長手方向に沿って並んで設けられ研磨テーブル上に洗浄流体を噴射する複数の噴射ノズルと、を備える。揺動アームの先端部に位置する噴射ノズルは、スラリ吐出ノズルから吐出されたスラリの研磨テーブル上における滴下位置を洗浄できるように斜めに設けられている。