MATERIAL ANALYSIS WITH MULTIPLE DETECTORS

A detector module for use in an apparatus for analysing a specimen is provided. The detector module comprises a plurality of X-ray sensor elements and one or more electron sensor elements, and is adapted to be positioned below a polepiece of an electron beam assembly of the apparatus from which an electron beam generated by the assembly emerges towards a specimen in use, such that the detector module receives X-rays and backscattered electrons generated by interaction between the electron beam and the specimen. Each of the plurality of X-ray sensor elements is configured to monitor energies of individual received X- ray photons, and the plurality of X-ray sensor elements have a total active area greater than 20 mm2. The radial extent of the detector module with respect to the electron beam axis in use is less than 10 mm for at least a first portion of the detector module. An apparatus and method for analysing a specimen are also provided. Module détecteur destiné à être utilisé dans un appareil d'analyse d'un échantillon. Le module détecteur comprend une pluralité d'éléments capteurs de rayons X et un ou plusieurs éléments capteurs d'électrons, et est conçu pour être positionné au-dessous d'un élément d'un ensemble faisceau d'électrons de l'appareil à partir duquel un faisceau d'électrons généré par l'ensemble émerge vers un échantillon lors de l'utilisation, de telle sorte que le module détecteur reçoit des rayons X et des électrons rétrodiffusés générés par l'interaction entre le faisceau d'électrons et l'échantillon. Chacun de la pluralité d'éléments capteurs de rayons X est configuré pour surveiller les énergies de photons de rayons X reçus individuels, et la pluralité d'éléments capteurs de rayons X ont une surface active totale supérieure à 20 mm2. L'étendue radiale du module détecteur par rapport à l'axe du faisceau d'électrons lors de l'utilisation est inférieure à 10 mm pour au moins une première partie du module détecteur. Un appareil et un procédé d'analyse d'un échantillon sont en outre décrits.