GLASS-SUBSTRATE-BASED MEMS MIRROR DEVICE AND PRODUCTION METHOD

Die Erfindung betrifft eine glassubstratbasierte MEMS-Spiegelvorrichtung zur variablen Ablenkung eines einfallenden elektromagnetischen Strahls, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung. Die MEMS-Spiegelvorrichtung weist ein scheibenförmiges und in mehrere Teilbereiche strukturiertes erstes Glassubstrat mit einem zumindest anteilig als MEMS- Spiegel zur Reflektion elektromagnetischer Strahlung ausgebildeten Spiegelteilbereich und einem den Spiegelteilbereich zumindest abschnittsweise umgebenden Rahmenteilbereich auf. Der Spiegelteilbereich ist als ein gegenüber dem Rahmenteilbereich mittels zumindest eines den Spiegelteilbereich und den Rahmenteilbereich verbindenden Verbindungselements, das insbesondere als Verbindungssteg bzw. mechanische Feder ausgebildet sein kann, in mehreren Dimensionen schwingungsfähig aufgehängter Teilbereich des ersten Glassubstrats ausgebildet. The invention relates to a glass-substrate-based MEMS mirror device for variably deflecting an incident electromagnetic beam, and a production method. The MEMS mirror device comprises a panel-type first glass substrate structured in multiple sub-regions and having a mirror sub-region designed as a MEMS mirror at least in regions for reflecting electromagnetic radiation, and having a frame sub-region surrounding the mirror sub-region at least in sections. The mirror sub-region is designed as a sub-region of the first glass substrate suspended such that it can vibrate in multiple dimensions relative to the frame sub-region by means of at least one connection element connecting the mirror sub-region and the frame sub-region, in particular which can be in the form of a connection bridge or mechanical spring. L'invention concerne un dispositif miroir MEMS à base de substrat de verre pour dévier de manière variable un faisceau électromagnétique incident, et un procédé de fabrication. Le dispositif de miroir MEMS comprend un premier substrat de verre de type panneau structuré dans de multiples sous-régions et ayant une sous-région de miroir conçue sous la forme d'un miroir MEMS au moins dans des régions pour réfléchir un rayonnement électromagnétique, et une sous-région de cadre entourant au moins partiellement la sous-région de miroir. La sous-zone de miroir est réalisée sous la forme d'une zone partielle du premier substrat de verre suspendu de manière à pouvoir vibrer dans de multiples dimensions par rapport à la sous-zone de cadre au moyen d'au moins un élément de liaison reliant la sous-zone