CAPACITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE, MICROPHONE UNIT, AND ELECTRONIC DEVICE

Provided in the embodiments of the present disclosure are a capacitive micro-electro-mechanical system microphone, a microphone unit, and an electronic device. The capacitive micro-electro-mechanical system microphone comprises a back electrode plate; a diaphragm; and a spacer, used for spacing apart the back electrode plate and the diaphragm; when no working bias is applied, at least part of the diaphragm is pre-stretched in the direction away from the back electrode plate relative to a flat position. Les modes de réalisation de la présente invention concernent un microphone à système micro-électromécanique capacitif, une unité de microphone et un dispositif électronique. Le microphone à système micro-électromécanique capacitif comprend une plaque d'électrode arrière ; une membrane ; et une entretoise, utilisée pour espacer la plaque d'électrode arrière et la membrane ; lorsqu'aucune polarisation de travail n'est appliquée, au moins une partie de la membrane est pré-étirée dans la direction opposée à la plaq