FLAT BOTTOM SHADOW RING

In some examples, a flat Bottom Shadow Ring (fBSR) is provided for processing a substrate in a processing chamber. An example fBSR comprises an overhang for covering an edge of the substrate in the processing chamber. The overhang includes a fiat zone that extends radially outward over the outer edg...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LIU, Jie, CHIANG, Conan, KIM, Ji Soo, MILLER, Alan, THIE, William, LIN, Frank, WEI, Lai, HAN, Jun Hee Hee, MARTIN, Michael
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	In some examples, a flat Bottom Shadow Ring (fBSR) is provided for processing a substrate in a processing chamber. An example fBSR comprises an overhang for covering an edge of the substrate in the processing chamber. The overhang includes a fiat zone that extends radially outward over the outer edge of the substrate. La présente invention concerne, dans certains exemples, un anneau d'ombre inférieur plat (fBSR) qui est utilisé pour traiter un substrat dans une chambre de traitement. Un exemple de fBSR comprend un surplomb destiné à recouvrir un bord du substrat dans la chambre de traitement. Le surplomb comprend une zone plate qui s'étend radialement vers l'extérieur sur le bord extérieur du substrat.