CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS AND FOCUS ADJUSTING METHOD THEREFOR

Provided is a technique capable of performing automatic focus adjustment even for a sample having regions of different heights. A charged particle beam apparatus according to the present disclosure is provided with: a sample holder that holds a sample; a sample stage on which the sample is moved; a charged particle gun and a charged particle beam barrel that irradiate the sample with a charged particle beam; an objective lens that can perform focus adjustment by changing the intensity of convergence action with respect to the charged particle beam; a detector that detects electrons from the sample and outputs a signal for forming an electron image; an optical imaging device that photographs an optical image of the sample; and a control device that calculates height information of the sample on the basis of the optical image acquired by imaging the sample by the optical imaging device, and that automatically executes setting of a focus adjustment value for a position to be observed on the basis of the height information. La divulgation concerne une technique susceptible de réaliser un réglage de mise au point automatique, même pour un échantillon ayant des régions de différentes hauteurs. Un appareil à faisceau de particules chargées selon la présente divulgation comprend : un porte-échantillon qui contient un échantillon ; une platine d'échantillon sur laquelle l'échantillon est déplacé ; un canon à particules chargées et un canon à faisceau de particules chargées qui irradient l'échantillon avec un faisceau de particules chargées ; une lentille d'objectif qui peut effectuer un réglage de mise au point en changeant l'intensité de l'action de convergence par rapport au faisceau de particules chargées ; un détecteur qui détecte des électrons à partir de l'échantillon et délivre un signal pour former une image d'électrons ; un dispositif d'imagerie optique qui photographie une image optique de l'échantillon ; et un dispositif de commande qui calcule des informations de hauteur de l'échantillon sur la base de l'image optique acquise par imagerie de l'échantillon par le dispositif d'imagerie optique et qui exécute automatiquement le réglage d'une valeur de réglage de mise au point pour une position à observer sur la base des informations de hauteur. 高さの異なる領域を有する試料であっても自動フォーカス調整を可能とする技術を提案する。本開示による荷電粒子線装置は、試料を保持する試料ホルダと、試料を移動させる試料ステージと、試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子銃および荷電粒子線鏡筒と、荷電粒子線に対する収束作用の強度を変更することでフォーカス調整が可能な対物レンズと、試料からの電子を検出し、電子像を形成するための信号を出力する検出器と、試料の光学画像を撮影する光学撮像装置と、光