MEASUREMENT DEVICE, MEASUREMENT METHOD, AND MEASUREMENT PROGRAM

This measurement device comprises: a drive signal generation unit that generates a sine wave drive signal according to a clock signal; an MEMS mirror that controls a reflection direction of output light from a light emitting device by using a resonance frequency according to the drive signal; a control unit that generates a control signal for controlling a timing at which the drive signal generation unit generates the drive signal; and a clock signal adjustment unit that adds or deletes a pulse of a reference clock signal for generating the clock signal according to a phase difference between a target control signal and the control signal. Dispositif de mesure comprenant : une unité de génération de signal d'entraînement qui génère un signal d'entraînement d'onde sinusoïdale en fonction d'un signal d'horloge ; un miroir MEMS qui commande une direction de réflexion de la lumière de sortie provenant d'un dispositif électroluminescent à l'aide d'une fréquence de résonance selon le signal d'entraînement ; une unité de commande qui génère un signal de commande pour commander un instant auquel l'unité de génération de signal d'entraînement génère le signal d'entraînement ; et une unité de réglage de signal d'horloge qui ajoute ou supprime une impulsion d'un signal d'horloge de référence pour générer le signal d'horloge selon une différence de phase entre un signal de commande cible et le signal de commande. 計測装置は、クロック信号に応じて正弦波の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記駆動信号に応じて、共振周波数を利用して、発光装置の出力光の反射方向を制御するＭＥＭＳミラーと、前記駆動信号生成部が前記駆動信号を生成するタイミングを制御する制御信号を生成する制御部と、目標制御信号と前記制御信号との位相差分に応じて、前記クロック信号を生成するための基準クロック信号のパルスの追加または削除を行なうクロック信号調整部と、を備える。