SYSTEM APPARATUS AND METHOD FOR ENHANCING ELECTRICAL CLAMPING OF SUBSTRATES USING PHOTO-ILLUMINATION

An apparatus may include a clamp to clamp a substrate wherein the clamp is arranged opposing a back side of the substrate; and an illumination system, disposed to direct radiation to the substrate, when the substrate is disposed on the clamp, wherein the radiation comprises a radiation energy, equal to or above a threshold energy to generate mobile charge in the substrate, where the illumination system is disposed to direct radiation to the back side of the substrate. Appareil pouvant comprendre une pince pour serrer un substrat, la pince étant disposée à l'opposé d'un côté arrière du substrat ; et système d'éclairage, disposé de façon à diriger un rayonnement vers le substrat, lorsque le substrat est disposé sur la pince, le rayonnement comprenant une énergie de rayonnement, égale ou supérieure à une énergie de seuil pour générer une charge mobile dans le substrat, le système d'éclairage étant disposé pour diriger un rayonnement vers le côté arrière du substrat.