EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE

This extreme ultraviolet light source device comprises: a cathode; an anode; a power supply device; a first support structure that is metal and that supports the cathode; and a second support structure that is metal and that supports the anode. The power supply device causes an electrical discharge between the cathode and the anode to generate plasma that emits extreme ultraviolet light. The cathode is connected to a first rotational shaft that is metal, and the anode is connected to a second rotational shaft that is metal. The first support structure has a first support wall, and a first cylinder that surrounds the first rotational shaft. The second support structure has a second support wall, and a second cylinder that surrounds the second rotational shaft. The first support wall and the second support wall are stacked, one on top of the other. The first support wall has formed therein a through-hole into which the second cylinder is inserted, or the second support wall has formed therein a through-hole into which the first cylinder is inserted. La présente invention concerne un dispositif de source de lumière ultraviolette extrême qui comprend : une cathode ; une anode ; un dispositif d'alimentation électrique ; une première structure de support qui est en métal et qui supporte la cathode ; et une seconde structure de support qui est en métal et qui supporte l'anode. Le dispositif d'alimentation électrique provoque une décharge électrique entre la cathode et l'anode pour générer un plasma qui émet une lumière ultraviolette extrême. La cathode est connectée à un premier arbre rotatif qui est en métal, et l'anode est connectée à un second arbre rotatif qui est en métal. La première structure de support comporte une première paroi de support et un premier cylindre qui entoure le premier arbre rotatif. La seconde structure de support comporte une seconde paroi de support et un second cylindre qui entoure le second arbre rotatif. La première paroi de support ainsi que la seconde paroi de support sont empilées l'une sur l'autre. Un trou traversant dans lequel le second cylindre est inséré est formé à l'intérieur de la première paroi de support, ou un trou traversant dans lequel le premier cylindre est inséré est formé à l'intérieur de la seconde paroi de support. 極端紫外光光源装置は、カソードと、アノードと、電力供給装置と、カソードを支持する金属製の第１の支持構造体と、アノードを支持する金属製の第２の支持構造体を備える。電力供給装置は、カソードとアノードの間で放電を生じさせ、極端紫外光を放出するプラズマを発生させる。カソードは金属製の第１の回転軸に連結され、アノードは金属製の第２の回転軸に連結されている。第１の支持構造体は、第１の支持壁部と、第１の回転軸