AN ULTRASOUND TRANSDUCER AND A TILED ARRAY OF ULTRASOUND TRANSDUCERS

An ultrasound transducer has a control circuit with an array of circuit portions, the used ones of which defining a circuit area. cMUT elements are provided over the top of the control circuit. Vias provide a coupling between each cMUT element and a respective one of the circuit portions beneath. At least some vias are located beneath the bottom electrode of the cMUT element and each via connects to the respective circuit portion at a same position relative to the circuit portion. The array of cMUT elements overlaps at least one side of the circuit area. The fixed via position makes the circuit design simpler, and the overlap enables tiling or else enables a modular design in which different cMUT designs may be used with the same circuit. Un transducteur à ultrasons comprend un circuit de commande avec un réseau de parties de circuit, dont les parties utilisées définissent une zone de circuit. Des éléments cMUT sont disposés sur la partie supérieure du circuit de commande. Des trous d'interconnexion assurent un couplage entre chaque élément cMUT et une partie respective des parties de circuit en dessous. Au moins certains trous d'interconnexion sont situés sous l'électrode inférieure de l'élément cMUT et chaque trou d'interconnexion est connecté à la partie circuit respective dans une même position par rapport à la partie circuit. Le réseau d'éléments cMUT chevauche au moins un côté de la zone de circuit. La position de trou d'interconnexion fixe permet de simplifier la conception de circuit, et le chevauchement permet une mosaïque ou bien permet une conception modulaire dans laquelle différentes conceptions de cMUT peuvent être utilisées avec le même circuit.