DISTRIBUTION SYSTEM FOR A PROCESS FLUID FOR CHEMICAL AND/OR ELECTROLYTIC SURFACE TREATMENT OF A ROTATABLE SUBSTRATE

The disclosure relates to a distribution system for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a rotatable substrate, an electrochemical deposition system for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate and a method for a chemical and/or electrolytic su...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MARKUT, Franz, GLEISSNER, Andreas
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES METALLURGY PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	The disclosure relates to a distribution system for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a rotatable substrate, an electrochemical deposition system for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate and a method for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate in a process fluid. The distribution system comprises a distribution body. The distribution body comprises a plurality of openings for the process fluid. The openings are arranged in a spiral-shaped pattern on a surface of the distribution body. L'invention concerne un système de distribution pour un fluide de traitement pour le traitement de surface chimique et/ou électrolytique d'un substrat rotatif, un système de dépôt électrochimique pour un traitement de surface chimique et/ou électrolytique d'un substrat et un procédé pour un traitement de surface chimique et/ou électrolytique d'un substrat dans un fluide de traitement. Le système de distribution comprend un corps de distribution. Le corps de distribution comprend une pluralité d'ouvertures pour le fluide de traitement. Les ouvertures sont agencées selon une configuration en forme de spirale sur une surface du corps de distribution.