LASER-SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE WITH GAS VORTEX FLOW
A laser-sustained plasma (LSP) light source with vortex gas flow is disclosed. The LSP source includes a gas containment structure for containing a gas, one or more gas inlets configured to flow gas into the gas containment structure, and one or more gas outlets configured to flow gas out of the gas...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | A laser-sustained plasma (LSP) light source with vortex gas flow is disclosed. The LSP source includes a gas containment structure for containing a gas, one or more gas inlets configured to flow gas into the gas containment structure, and one or more gas outlets configured to flow gas out of the gas containment structure. The one or more gas inlets and the one or more gas outlets are arranged to generate a vortex gas flow within the gas containment structure. The LSP source also includes a laser pump source configured to generate an optical pump to sustain a plasma in a region of the gas containment structure within an inner gas flow within the vortex gas flow. The LSP source includes a light collector element configured to collect at least a portion of broadband light emitted from the plasma.
L'invention concerne une source de lumière à plasma entretenue par laser (LSP) avec écoulement de gaz tourbillonnaire. La source LSP comprend une structure de confinement de gaz destinée à contenir un gaz, une ou plusieurs entrées de gaz configurées pour faire circuler un gaz dans la structure de confinement de gaz, et une ou plusieurs sorties de gaz configurées pour faire circuler un gaz hors de la structure de confinement de gaz. L'une ou plusieurs entrées de gaz et l'une ou plusieurs sorties de gaz sont agencées pour générer un flux de gaz tourbillonnaire à l'intérieur de la structure de confinement de gaz. La source LSP comprend également une source de pompe laser configurée pour générer une pompe optique pour maintenir un plasma dans une région de la structure de confinement de gaz à l'intérieur d'un flux de gaz interne à l'intérieur du flux de gaz tourbillonnaire. La source LSP comprend un élément collecteur de lumière configuré pour collecter au moins une partie de la lumière à large bande émise par le plasma. |
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