TESTING APPARATUS, CONTROLLER SYSTEM AND TESTING METHOD

Es wird eine Testvorrichtung (10) zum Testen von elektrischen Bauelementen (40-48) und/oder Leiterbahnstrukturen (50-58) vorgeschlagen, wobei die Testvorrichtung (10) eine Vielzahl von Testorten (20-28) zum Aufnehmen jeweils eines elektrischen Bauelements (40-48) und/oder jeweils einer Leiterbahnstruktur (50-58) aufweist, wobei die Testvorrichtung (10) ferner eine Auswahlvorrichtung zum Auswählen von einem der Testorte (20-28) aufweist, wobei die Testvorrichtung (10) in Reihen (11-13) angeordnete elektrische Leitungen und in Spalten (16-19) angeordnete elektrische Leitungen zum Versorgen eines an dem ausgewählten Testort (20-28) angeordneten elektrischen Bauelements (40-48) und/oder einer an dem ausgewählten Testort (20-28) angeordneten Leiterbahnstruktur (50-58) mit einer Wechselspannung aufweist, wobei die Testvorrichtung (10) Z-Dioden (30-38) zum elektrischen Verbinden des jeweiligen elektrischen Bauelements (40-48) und/oder der jeweiligen Leiterbahnstruktur (50-58) an dem jeweiligen Testort (20-28) über eine der Z-Dioden (30-38) mit einer der Reihen (11-13) der elektrischen Leitungen, und einen Signalgenerator (50) aufweist, wobei der Signalgenerator (50) zum Erzeugen eines Testsignals, das ein Spannungssignal als Summe eines Rechtecksignals und eines wellenförmiges Signals, insbesondere eines Sinussignals, aufweist, ausgebildet ist, und wobei die maximale Spannung des Rechtecksignals mindestens der Durchbruchsspannung der jeweiligen Z-Diode (30-38) des ausgewählten Testorts (20-28) entspricht, gekennzeichnet durch eine Elektromigrationsvorrichtung (90) zum Anlegen eines Gleichspannungssignals an die elektrischen Bauelemente (40-48) und/oder die Leiterbahnstrukturen (50-58) zum Erzeugen von Elektromigration in den elektrischen Bauelementen (40-48) und/oder den Leiterbahnstrukturen (50-58), wobei die Spannung des Gleichspannungssignals größer als die Durchbruchsspannung der jeweiligen Z-Diode (30-38) des ausgewählten Testorts (20-28) ist. The invention relates to a testing apparatus (10) for testing electrical components (40-48) and/or conductor track structures (50-58), wherein: the testing apparatus (10) has a plurality of test locations (20-28), each for receiving an electrical component (40-48) and/or a conductor track structure (50-58); the testing apparatus (10) further has a selection apparatus for selecting one of the test locations (20-28); the testing apparatus (10) has electrical lines arranged in rows (11-13) and electrical lines arranged in