RF MAGNETIC FIELD SENSOR FOR HARMONIC MEASUREMENTS AND UNIFORMITY CONTROL

A magnetic field sensor for measuring magnetic field of a current applied to a lower electrode defined within a plasma chamber includes a conductor element disposed along a length of a tubular housing. A plurality of slots is defined on one side of the tubular housing to expose the conductor element...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	KOZAKEVICH, Felix
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	A magnetic field sensor for measuring magnetic field of a current applied to a lower electrode defined within a plasma chamber includes a conductor element disposed along a length of a tubular housing. A plurality of slots is defined on one side of the tubular housing to expose the conductor element. La présente invention concerne un capteur de champ magnétique qui sert à mesurer le champ magnétique d'un courant appliqué à une électrode inférieure définie dans une chambre de plasma, comprenant un élément conducteur sur une longueur d'un boîtier tubulaire. Une pluralité de fentes sont définies sur un côté du boîtier tubulaire de manière à faire apparaître l'élément conducteur.