SUBSTRATE HOLDER HAVING AN ELASTIC SUBSTRATE SUPPORT

Die Erfindung betrifft einen Substrathalter(2) zur Verwendung in einer Substratbehandlungsvorrichtung (1), aufweisend eine durch Wärmezufuhr oder Wärmeabfuhr temperierbare Oberseite (2'), die bei einer Substratbehandlung ein Substrat (7) trägt, dessen sich in einer Ebene parallel zur Oberseite (2') erstreckende Rückseite (8) zur Oberseite (2') weist, wobei die Oberfläche der Rückseite (8) zumindest eine unebene oder aus einer Ebene herausgewölbte Zone (8') aufweist sowie eine Vorrichtung zur Durchführung eines Substratbehandlungprozesses mit einem derartigen Substrathalter (2). Um eine gleichmäßige Erwärmung des Substrates (7) zu gewährleisten, ist eine auf der Oberseite (2') angeordnete, elastisch verformbare Substratauflage (10) vorgesehen, die aufgrund einer elastischen Verformung in berührende Anlage an die Oberfläche der Rückseite (8, 8') tritt. Die Substratauflage (10) kann von einer Mehrzahl von elastischen Strukturelementen (11, 12, 13, 14, 15) gebildet sein. The invention relates to a substrate holder (2) for use in a substrate handling apparatus (1), having a top side (2') which can be temperature-controlled by the supply or discharge of heat, which top side carries a substrate (7) during substrate handling, the rear side (8) of which substrate extends in a plane parallel to the top side (2') and points toward the top side (2'), wherein the surface of the rear side (8) has at least one zone (8') which is uneven or which bulges out of a plane, and an apparatus for carrying out a substrate handling process by means of such a substrate holder (2). In order to ensure uniform heating of the substrate (7), a resiliently deformable substrate support (10) arranged on the top side (2') is provided which, as a result of a resilient deformation, comes into contact with the surface of the rear side (8, 8'). The substrate support (10) can be formed by a plurality of resilient structural elements (11, 12, 13, 14, 15). L'invention concerne un porte-substrat (2) conçu pour être utilisé dans un dispositif de traitement de substrat (1), comprenant une face supérieure (2') thermorégulable par apport ou évacuation de chaleur, qui porte un substrat (7) lors d'un traitement de substrat, dont la face arrière (8) s'étendant dans un plan parallèle à la face supérieure (2') est orientée vers la face supérieure (2'). La surface de la face arrière (8) comprend au moins une zone (8') non plane ou convexe par rapport à un plan. Cette invention concerne également un dispositif