LOAD LOCK WITH INTEGRATED FEATURES

A cassette with embedded temperature sensors that is disposed within a load lock is disclosed. The temperature sensors may be disposed in a plurality of shelves of the load lock cassette to monitor the temperature of each of a plurality of workpieces disposed in the load lock. The output of these temperature sensors may be provided to a controller, which controls when the load lock is opened. The load lock cassette may also include cooling channels to accelerate the cooling of the workpieces to improve throughput. The cooling may be controlled using closed loop control, where a controller monitors the temperature of the workpieces during the cooling operation. L'invention concerne une cassette dotée de capteurs de température intégrés qui est disposée à l'intérieur d'un sas de chargement. Les capteurs de température peuvent être disposés dans une pluralité d'étagères de la cassette de sas de chargement pour surveiller la température de chaque pièce d'une pluralité de pièces disposées dans le sas de chargement. La sortie de ces capteurs de température peut être fournie à un dispositif de commande, qui commande l'état d'ouverture du sas de chargement. La cassette à sas de chargement peut également comprendre des canaux de refroidissement pour accélérer le refroidissement des pièces pour améliorer le débit. Le refroidissement peut être commandé à l'aide d'une commande en boucle fermée, un dispositif de commande surveillant la température des pièces au cours de l'opération de refroidissement.