ARRAYED COLUMN DETECTOR

An electron beam inspection system is disclosed, in accordance with one or more embodiments of the present disclosure. The inspection system may include an electron beam source configured to generate one or more primary electron beams. The inspection system may also include an electron-optical column including a set of electron-optical elements configured to direct the one or more primary electron beams to a sample. The inspection system may further include a detection assembly comprising: a scintillator substrate configured to collect electrons emanating from the sample, the scintillator substrate configured to generate optical radiation in response to the collected electrons; one or more light guides; one or more reflective surfaces configured to receive the optical radiation and direct the optical radiation along the one or more light guides; and one or more detectors configured to receive the optical radiation from the light guide. Conformément à un ou plusieurs modes de réalisation, la présente invention concerne un système d'inspection de faisceau d'électrons. Le système d'inspection peut comprendre une source de faisceaux d'électrons conçue pour générer un ou plusieurs faisceaux d'électrons primaires. Le système d'inspection peut également comprendre une colonne optique d'électrons comprenant un ensemble d'éléments optiques d'électron conçus pour diriger le ou les faisceaux d'électrons primaires vers un échantillon. Le système d'inspection peut en outre comprendre un ensemble de détection comprenant : un substrat de scintillateur conçu pour collecter des électrons émanant de l'échantillon, le substrat de scintillateur étant conçu pour générer un rayonnement optique en réponse aux électrons collectés ; un ou plusieurs guides de lumière ; une ou plusieurs surfaces réfléchissantes conçues pour recevoir le rayonnement optique et diriger le rayonnement optique le long du ou des guides de lumière ; et un ou plusieurs détecteurs conçus pour recevoir le rayonnement optique provenant du guide de lumière.