LOW-COST HIGH-PURITY VACUUM PUMPS AND SYSTEMS

Disclosed is a pumping system with reduced contamination. A vacuum pump system includes a mechanical vacuum pump mechanism within a hermetic pump that hermetically isolates the pump mechanism from ambient air. A pump inlet is hermetically sealed to the hermetic pump housing. A pump outlet is hermetically sealed at one end to the hermetic pump housing and at the other end to an inlet of a Peclet seal tube. The vacuum pump system produces a vacuum in a vacuum processing chamber. A sweep gas source injects a sweep gas into at least one of (i) the hermetic pump housing and (ii) the inlet of the Peclet seal tube. The sweep gas and a process gas flow through the Peclet seal tube to substantially isolate against the backflow of the ambient air through the Peclet seal tube. L'invention concerne un système de pompage à contamination réduite. Un système de pompe à vide comprend un mécanisme de pompe à vide mécanique à l'intérieur d'une pompe hermétique qui isole hermétiquement le mécanisme de pompe de l'air ambiant. Une entrée de pompe est hermétiquement scellée au boîtier de pompe hermétique. Une sortie de pompe est hermétiquement scellée au niveau d'une extrémité au boîtier de pompe hermétique et à l'autre extrémité à une entrée d'un tube de joint d'étanchéité de Péclet. Le système de pompe à vide produit un vide dans une chambre de traitement sous vide. Une source de gaz de balayage injecte un gaz de balayage dans au moins un élément parmi (i) le boîtier de pompe hermétique et (ii) l'entrée du tube de joint d'étanchéité de Péclet. Le gaz de balayage et un flux de gaz de traitement s'écoulent à travers le tube joint d'étanchéité de Péclet pour isoler essentiellement le reflux de l'air ambiant à travers le tube d'étanchéité de Péclet.