CERAMIC HEATER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

In the present invention, an electrostatic chuck heater is provided with a heating resistor 16 inside a ceramic substrate 12. A groove 17 is provided on the surface of the heating resistor 16 in the longitudinal direction. The side wall surfaces 17a of the groove 17 are inclined with respect to the surface of the ceramic substrate 12. No gaps exist between the side wall surfaces 17a of the groove 17 and the ceramic substrate 12. Dans la présente invention, un dispositif de chauffage à mandrin électrostatique est pourvu d'une résistance chauffante (16) à l'intérieur d'un substrat en céramique (12). Une rainure (17) est prévue sur la surface de la résistance chauffante (16) dans la direction longitudinale. Les surfaces de paroi latérale (17a) de la rainure (17) sont inclinées par rapport à la surface du substrat en céramique (12). Aucun espace n'existe entre les surfaces de paroi latérale (17a) de la rainure (17) et le substrat en céramique (12). 静電チャックヒータは、セラミック基板１２の内部に抵抗発熱体１６を備えている。抵抗発熱体１６の表面には、抵抗発熱体１６の長手方向に沿って凹溝１７が設けられている。凹溝１７の側壁面１７ａは、セラミック基板１２の表面に対して傾斜している。凹溝１７の側壁面１７ａとセラミック基板１２との間には空隙が存在しない。