A CAPACITIVE MICROPHONE SENSOR DESIGN AND FABRICATION METHOD FOR ACHIEVING HIGHER SIGNAL TO NOISE RATIO

A capacitive transducer or microphone includes a first substrate of one or more layers and which includes a first surface, a first cavity in the first surface, and a mesa diaphragm that spans the first cavity. The capacitive transducer or microphone includes a second substrate fixed to the first substrate. The second substrate has one or more layers which includes a second cavity having a nonplanar (e.g., contoured or structured or stepped) bottom surface that faces the mesa diaphragm. A shape or relief of the bottom surface of the cavity may advantageously be, to at least some degree, complementary to a deformed shape of the diaphragm. The second substrate may include one or more acoustic holes, non-uniformly distributed thereacross. One or more vents may vent the second cavity. L'invention concerne un transducteur ou microphone capacitif qui comprend un premier substrat à une ou plusieurs couches et présentant une première surface, une première cavité dans la première surface, et une membrane mesa qui couvre la première cavité. Le transducteur ou microphone capacitif comprend un second substrat fixé au premier substrat. Le second substrat comporte une ou plusieurs couches qui comprennent une seconde cavité ayant une surface inférieure non plane (par exemple, profilée ou structurée ou étagée) qui fait face à la membrane mesa. Une forme ou un relief de la surface inférieure de la cavité peut avantageusement être, au moins à un certain degré, complémentaire d'une forme déformée de la membrane. Le second substrat peut comprendre un ou plusieurs trous acoustiques, répartis de manière non uniforme sur toute son étendue. Un ou plusieurs évents peuvent évacuer la seconde cavité.