ANALYSIS DEVICE

An analysis device according to the present invention comprises an electron emission element, a detection unit, an electric field formation unit, an electrostatic gate electrode, and a control unit. The electron emission element has a bottom electrode, a surface electrode, and an intermediate layer...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: IWAMATSU, Tadashi, HIRAKAWA, Chika
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:An analysis device according to the present invention comprises an electron emission element, a detection unit, an electric field formation unit, an electrostatic gate electrode, and a control unit. The electron emission element has a bottom electrode, a surface electrode, and an intermediate layer disposed between the bottom electrode and the surface electrode. The control unit is configured to apply a pulse voltage between the bottom electrode and the surface electrode so that electrons are emitted from the electron emission element toward an ionization region between the electron emission element and the electrostatic gate electrode, generating ions directly or indirectly. The control unit is also configured to change the potential of the electrostatic gate electrode so that the ions in the ionization region are injected at least twice into a drift region between the electrostatic gate electrode and the detection unit within the pulse width of the pulse voltage. La présente invention concerne un dispositif d'analyse qui comprend un élément d'émission d'électrons, une unité de détection, une unité de formation de champ électrique, une électrode de grille électrostatique et une unité de commande. L'élément d'émission d'électrons comporte une électrode inférieure, une électrode de surface et une couche intermédiaire disposée entre l'électrode inférieure et l'électrode de surface. L'unité de commande est configurée pour appliquer une tension d'impulsion entre l'électrode inférieure et l'électrode de surface de sorte que des électrons sont émis depuis l'élément d'émission d'électrons vers une région d'ionisation entre l'élément d'émission d'électrons et l'électrode de grille électrostatique, en générant des ions directement ou indirectement. L'unité de commande est en outre configurée pour modifier le potentiel de l'électrode de grille électrostatique de sorte que les ions dans la région d'ionisation sont injectés au moins deux fois dans une région de dérive entre l'électrode de grille électrostatique et l'unité de détection dans la durée d'impulsion de la tension d'impulsion. 本発明の分析装置は、電子放出素子と、検出部と、電場形成部と、静電ゲート電極と、制御部とを備える。電子放出素子は、下部電極、表面電極及び下部電極と表面電極との間に配置された中間層を有する。制御部は、電子放出素子と静電ゲート電極との間のイオン化領域に向けて電子放出素子から電子が放出されイオンが直接的又は間接的に生成されるように下部電極と表面電極との間にパルス電圧を印加するように設けられ、かつ、パルス電圧のパルス幅内において、イオン化領域のイオンを静電ゲート電極と検出部との間のドリフト領域に少なくとも2回注入するように静電ゲート電極の電位を変化させるように設けられる。