TRANSPORT SYSTEM, TRANSPORT METHOD, AND TRANSPORT DEVICE

A transport system in which a plurality of processing chambers for performing processing on a substrate in a reduced-pressure atmosphere are provided in a side wall, the transport system comprising a transport chamber that transports the substrate in the reduced-pressure atmosphere. The transport chamber is provided with a plurality of robots that are fixed to the inside of the transport chamber and that transport the substrate, and a movable buffer. The movable buffer holds the substrate and moves horizontally along the side wall between the side wall and the robots. The robots deliver the substrate between the movable buffer and the processing chamber by working together with the movement of the movable buffer. Un système de transport dans lequel une pluralité de chambres de traitement servant à effectuer un traitement sur un substrat dans une atmosphère à pression réduite sont disposées dans une paroi latérale, le système de transport comprenant une chambre de transport qui transporte le substrat dans l'atmosphère à pression réduite. La chambre de transport comporte une pluralité de robots qui sont fixés à l'intérieur de la chambre de transport et qui transportent le substrat, et un tampon mobile. Le tampon mobile maintient le substrat et se déplace horizontalement le long de la paroi latérale entre la paroi latérale et les robots. Les robots fournissent le substrat entre le tampon mobile et la chambre de traitement en travaillant conjointement avec le mouvement du tampon mobile. 搬送システムは、減圧雰囲気にて基板に対する処理を行う複数の処理室が側壁に設けられ、減圧雰囲気にて基板を搬送する搬送室を備える。搬送室は、搬送室内に固定され、基板を搬送する複数のロボットと、移動式バッファとを備える。移動式バッファは、基板を保持し、側壁とロボットとの間を側壁に沿う水平向きに移動する。ロボットは、移動式バッファの移動と連携することによって移動式バッファと処理室との間で基板の受け渡しを行う。