RADIO FREQUENCY MATCH NETWORK AND GENERATOR

A method of providing data on radio frequency pulses in a radio frequency plasma processing system, the method including measuring an electrical parameter within a matching network of the radio frequency plasma processing system; determining an attribute of the measurement of the electrical parameter; defining a first statistic for the attribute of the measurement of the electrical parameter; defining a second statistic based on the first statistic for at least one of a phase and a process; delivering the first statistic and second statistic to a user; and storing the first statistic and the second statistic within the matching network. L'invention concerne un procédé de fourniture de données sur des impulsions de radiofréquence dans un système de traitement par plasma radiofréquence, le procédé comprenant la mesure d'un paramètre électrique à l'intérieur d'un réseau d'adaptation du système de traitement par plasma radiofréquence ; la détermination d'un attribut de la mesure du paramètre électrique ; la définition d'une première statistique pour l'attribut de la mesure du paramètre électrique ; la définition d'une seconde statistique sur la base de la première statistique pour une phase et/ou un procédé ; la fourniture de la première statistique et de la seconde statistique à un utilisateur ; et le stockage de la première statistique et de la seconde statistique dans le réseau d'adaptation.